氦質譜檢漏儀定義是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。

氦氣作為惰性氣體，不會腐蝕設備，且在容器環境和質譜環境中干擾較少，信號較純，因而

常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有檢漏儀（即調整到僅對氦氣反應的工作狀態的氣體

分析儀）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量

大小。

氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀

器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。

以西格瑪旗下的 SAFC Hitech 子公司為例

Epichem (Epichem Limited,特殊氣體分部) 要求 ESS 設計并建造了一套檢測系統, 用于泵壓、

烘烤、真空檢漏、正壓泄漏檢測以及有機金屬起泡劑的制備氣認證。

起泡器 (過去常用于向半導體工業提供有機金屬) 是一些體積較小的金屬罐，配置有進出閥。

由于具有高真空超潔凈的特點，因此起泡器在填充前要求相當的潔凈。同時，由于起泡器內

填充的是氧氣，避免泄漏發生爆炸也至關重要。

針對此應用，ESS 開發出了一種特殊的雙進樣端口的質譜系統，它具有一個經校準的正壓泄

漏測試模塊，還具有一個自動化的高真空測試模塊。

首先，將起泡器放置于平臺上。使用氦氣填充至一定壓力，所有的接頭都使用正壓泄漏檢測

裝置“嗅辨”一下。任何檢測到的泄漏記錄與起泡器序列號一一對應，發生任何超過用戶設

置的zui大允許結果泄漏的起泡器都會被拒絕放行。

然后將起泡器安裝 10 個一排的裝置上，該裝置配有無油前級泵和渦輪分子泵。在軟件完全

控制下，外部管線抽真空并保持狀態，然后操作者使用外噴霧檢查所有接頭時， 質譜系統

可以監測任何氦泄漏。

若通過泄漏測試，將起泡器抽真空、烘烤。測試結束時，質譜系統會自動分析起泡器和接頭

管線中的氣體。為保證測試結果，所有起泡器中的水，氧和溶劑的濃度必須低于 1 ppm。

測試結束時，會提醒操作人員，并顯示測試結果是通過還是拒絕，所有測試數據將會被記錄，

便于溯源。

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