顯微學(xué)校準(zhǔn)、測試和參照物質(zhì)標(biāo)樣的介紹
荷蘭Micro to Nano(簡稱M2N)供應(yīng)的校準(zhǔn)標(biāo)樣，是校準(zhǔn)各種顯微鏡和X射線分析系統(tǒng)不可或缺的工具。只有經(jīng)過校準(zhǔn)的儀器才能產(chǎn)生精確的數(shù)據(jù)。本文介紹掃描電鏡SEM、聚焦離子束雙束電鏡FIB-SEM、透射電鏡TEM、能譜儀EDS/波譜儀WDS、光學(xué)顯微鏡LM和數(shù)字成像系統(tǒng)的可用校準(zhǔn)標(biāo)樣和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。這些多功能、精準(zhǔn)制作且價格合理的校準(zhǔn)標(biāo)樣及標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，可實(shí)現(xiàn)顯微學(xué)領(lǐng)域的校準(zhǔn)。
一. 用于SEM、FIB、FESEM、桌上型SEM的標(biāo)樣
1.1）MCS-1和MCS-0.1可溯源或已認(rèn)證的高放大倍率校準(zhǔn)標(biāo)樣：
1.2）MTC-5四圖案（圓環(huán)、方框、六角和十字）光柵校準(zhǔn)標(biāo)樣用于中低放大倍率校準(zhǔn)，可溯源：
1.3）LAMC-15可溯源的低放大倍率/大面積校準(zhǔn)標(biāo)樣：
1.4）M-1和M-10可溯源的柵格圖案校準(zhǔn)標(biāo)樣，格子間距分別為1µm和10µm：
1.5）碳噴金分辨率測試標(biāo)樣：
1.6）碳基錫球分辨率測試標(biāo)樣：
二. 用于SEM/EDS/WDS的標(biāo)樣
2.1）EDS/WDS緊湊型校準(zhǔn)標(biāo)樣，銅光闌法拉第杯居中的鋁質(zhì)樣品樁（釘臺）上分布5種物質(zhì)標(biāo)樣：
三. 用于TEM-TEM/EDS的標(biāo)樣
3.1）TEM分辨率標(biāo)樣：
3.2）TEM測試標(biāo)樣：
3.4）MAG*I*CAL可溯源TEM校準(zhǔn)標(biāo)樣：
四. 用于AFM-SPM的標(biāo)樣
4.1）AFM TipCheck標(biāo)樣：
4.2）AFM XYZ標(biāo)樣：
五. 用于LM光學(xué)顯微鏡及數(shù)字成像的標(biāo)樣
5.1）物臺測微尺和分劃板，用于LM光學(xué)顯微鏡的校準(zhǔn)和測量的精密載物臺千分尺，可選附認(rèn)證證書：
一. 用于SEM、FIB、FESEM、桌上型SEM的標(biāo)樣
1.1）MCS-1和MCS-0.1可溯源或已認(rèn)證的高放大倍率校準(zhǔn)標(biāo)樣：
二. 用于SEM/EDS/WDS的標(biāo)樣
2.1）EDS/WDS緊湊型校準(zhǔn)標(biāo)樣，銅光闌法拉第杯居中的鋁質(zhì)樣品樁（釘臺）上分布5種物質(zhì)標(biāo)樣：
2.2）EDS/WDS定量分析參照物標(biāo)樣，銅光闌法拉第杯居中的Ø25.4 x 9 mm不銹鋼圓臺上分布多種物質(zhì)標(biāo)樣：18/21種稀土，或36種金屬，或32種金屬/金屬化合物+4種鹽類化合物，或40種礦物，或27種單質(zhì)+5種化合物+8種礦物；以及CL（陰極熒光）測試、光譜峰值解卷積測試、拉曼礦物分析等應(yīng)用的參照物質(zhì)標(biāo)樣：
2.3）用于EDX系統(tǒng)和BSE探測器的EDX檢測器，可快速簡便地對EDX系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)和分辨率檢查：
2.4）用于束流測量的法拉第杯：
三. 用于TEM-TEM/EDS的標(biāo)樣
3.1）TEM分辨率標(biāo)樣：
3.2）TEM測試標(biāo)樣：
3.3）TEM EDS校準(zhǔn)標(biāo)樣：
4.1）AFM TipCheck標(biāo)樣：
4.2）AFM XYZ標(biāo)樣：
4.3）HOPG標(biāo)樣：
五. 用于LM光學(xué)顯微鏡及數(shù)字成像的標(biāo)樣
5.1）物臺測微尺和分劃板，用于LM光學(xué)顯微鏡的校準(zhǔn)和測量的精密載物臺千分尺，可選附認(rèn)證證書：
5.2）可溯源的高對比度硅基單十字或一字線校準(zhǔn)標(biāo)樣，適用于低放大率、大面積、顯微鏡載物臺和數(shù)字成像系統(tǒng)：
5.3）MTC-5四圖案（圓環(huán)、方框、六角和十字）光柵校準(zhǔn)標(biāo)樣用于中低放大倍率校準(zhǔn)，可溯源：
5.4）M系列校準(zhǔn)載玻片（測微尺和目鏡分劃板）：
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