相關(guān)探針和電子顯微鏡™（CPEM）的關(guān)聯(lián)成像技術(shù)簡介
新型掃描探針顯微鏡（SPM）和掃描電子顯微鏡（SEM）關(guān)聯(lián)成像技術(shù)簡介
LiteScope™是一種獨(dú)特的掃描探針顯微鏡（SPM）。 它設(shè)計(jì)用于輕松集成到各種掃描電子顯微鏡（SEM）中。 組合互補(bǔ)的SPM和SEM技術(shù)使其能夠利用兩者的優(yōu)勢。使用LiteScope™及其可更換探針系列，可以輕松進(jìn)行復(fù)雜的樣品分析，包括表面形貌，機(jī)械性能，電性能，化學(xué)成分，磁性能等的表征。相關(guān)探針和電子顯微鏡™（CPEM）結(jié)合了SPM和SEM技術(shù)。 CPEM可以同時(shí)在同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)中同時(shí)獲取同一區(qū)域的SPM和SEM圖像。 結(jié)合SPM和SEM成像方法可以得到分析區(qū)域的更廣泛的信息光譜，從而揭示兩種圖像中可能存在的等同性和不一致性。
將樣品連接到壓電掃描儀。 電子束焦點(diǎn)和SPM探針在CPEM圖像采集期間可以對(duì)感興趣的區(qū)域由壓電掃描器逐點(diǎn)掃描并發(fā)出信號(hào)，同時(shí)對(duì)SEM檢測器和SPM探針進(jìn)行采樣，以便進(jìn)行測量放在同一個(gè)協(xié)調(diào)系統(tǒng)中。 在SPM尖端和該范圍內(nèi)的聚焦電子束之間存在恒定的尖端/點(diǎn)偏移數(shù)百納米。 如果減去這樣的尖端/點(diǎn)偏移，則SEM和SPM圖像具有完美匹配和優(yōu)異的相關(guān)性- 可以獲取CPEM圖像。
CPEM技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)
1. CPEM提供多維相關(guān)成像 - 來自掃描電子顯微鏡的圖像被擴(kuò)展為3D。
2. 使用CPEM，可以快速準(zhǔn)確地區(qū)分SEM圖像中的地形和材料對(duì)比度。
3. CPEM以適當(dāng)?shù)姆绞綄蓚�(gè)或多個(gè)SEM信號(hào)與測量的地形相關(guān)聯(lián)，例如SE，BSE，EBIC等。
4. CPEM可以在相同的條件下同時(shí)測量AFM和SEM試樣條件，相同的測量速度等
5. 組合的AFM和SEM掃描系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)精確的圖像相關(guān)，消除漂移和其他不準(zhǔn)確性。
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