一、真空泵的性能參數
1、真空泵的極限壓強
泵的極限壓強單位是Pa，是指泵在入口處裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓強。
2、真空泵的抽氣速率
泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試驗罩，并按規定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
3、真空泵的抽氣量
真空泵的抽氣量單位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的氣體流量。
4、真空泵的起動壓強
真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強。
5、泵的前級壓強
真空泵的前級壓強單位是Pa，它是指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
6、真空泵的最大前級壓強
真空泵口最大前級壓強單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強。
7、真空泵的最大工作壓強
真空泵的最大工作壓強單位是Pa，它是指對應最大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。
8、壓縮比
壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
9、何氏系數
泵抽氣通道面積上的實際抽速與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
10、抽速系數
泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
11、返流率
泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質量流率。
12、水蒸氣允許量
水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。
13、最大允許水蒸氣入口壓強
最大允許水蒸氣入口壓強單位是Pa 。它是指在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強。
二、真空泵的使用范圍
由于各種真空泵所具有的工作壓強范圍及起動壓強均有所不同，因此在選用真空泵時必須滿足這些要求。表3-1給出了各種常用真空泵的工作壓強范圍及泵的起動壓強值，以供參用。
表3-1 常用真空泵的工作壓強范圍及起動壓強
真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10-1 1×105
油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10-7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10-2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10-1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10-9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10-9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10-11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
進口無油隔膜真空/壓力泵