在當(dāng)今高科技行業(yè)中，精密離子研磨技術(shù)的進(jìn)步對材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)的發(fā)展至關(guān)重要。

作為行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者，近期Technoorg Linda 再次突破創(chuàng)新，在匈牙利首都布達(dá)佩斯剛剛結(jié)束的全球會議中正式發(fā)布了其最新產(chǎn)品 —— 離子研磨儀 SEMPREP SMART 與離子精修系統(tǒng) Gentle Ion Beam（GIB），為全球用戶帶來更加高效、精確的解決方案。

復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司作為 Technoorg Linda 在中國的獨(dú)家合作伙伴，我們?yōu)榭蛻籼峁┤�方位的產(chǎn)品培訓(xùn)、技術(shù)支持和售后服務(wù)。

當(dāng)前在國內(nèi)市場，Technoorg Linda 專注于引進(jìn)并推廣 SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設(shè)備。本次發(fā)布的新產(chǎn)品 SEMPREP SMART 離子研磨儀主要用于掃描電鏡（SEM）樣品制備，Gentle Ion Beam（GIB）精修離子束系統(tǒng)主要用于雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進(jìn)行zui終拋光和溫和的表面清潔。

新產(chǎn)品 01
SEMPREP SMART 離子研磨儀
SEMPREP SMART 配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。用于掃描電子顯微鏡（SEM）和電子背散射衍射（EBSD）樣品的最終加工和清潔。離子加工可以改進(jìn)和清潔機(jī)械拋光的 SEM 樣品，并為 EBSD 分析制備無損表面。該設(shè)備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品，例如在半導(dǎo)體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實(shí)現(xiàn)出色的效果。

SEMPREP SMART
產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 先進(jìn)的離子槍設(shè)計(jì)和自動(dòng)化功能

采用超高能離子槍，最高可達(dá) 16keV，帶來更快的加工速率，更優(yōu)異的加工效果。

• 新型智能化操作軟件 

Technoorg Linda 的新產(chǎn)品在設(shè)計(jì)上充分考慮了用戶的實(shí)際需求，開創(chuàng)性的將 AI 算法集成到系統(tǒng)中，使操作更加智能化，提供多種操作模式：

1.配方庫-離線：基于我們長期的經(jīng)驗(yàn)積累
2.自動(dòng)配方生成 - 離線：基于簡短問卷
3.Linda AI - 在線：實(shí)時(shí)搜索最佳解決方案，訪問龐大數(shù)據(jù)庫以獲取最佳結(jié)果
 

高效，全面，智能化的理解用戶需求，提供即時(shí)的反饋和解決方案

• 高分辨率數(shù)字相機(jī)

在處理過程中用于樣品觀察

• 全新的對位樣品臺

在進(jìn)行 90° 截面樣品加工時(shí)帶來更加精確的樣品定位

• 可選的新型 LN2 冷卻系統(tǒng)

為用戶帶來更加高效及精確的長時(shí)間控溫

使用氬離子束進(jìn)行加工

• 平面加工模式

在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續(xù)旋轉(zhuǎn)的條件下進(jìn)行加工

Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界類型 (b)

• 90° 截面加工模式

使用鈦或玻璃擋板進(jìn)行連續(xù)搖擺的截面加工

  TFT 板的 90° 加工，位置精度為 ±1 微米                  加工點(diǎn)后方的 TFT表面細(xì)節(jié)           

新產(chǎn)品 02
GIB 精修離子束系統(tǒng)
Technoorg Linda 的精修離子束系統(tǒng)（GIB）適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧化物表面層。當(dāng)?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時(shí)，其作用尤為明顯。有了集成離子槍，就可以在研究之前對樣品進(jìn)行精修。實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應(yīng)用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進(jìn)行最終拋光和溫和的表面清潔。
 

GIB 精修離子束系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 儀器控制單元

  電子元件、閉環(huán)冷卻系統(tǒng)和氬氣壓力傳感器均位于控制單元內(nèi)。高純度（99.999%）氬氣用于供應(yīng)離子源，其流量由高精度針閥調(diào)節(jié)�？刂栖浖�在 Windows 操作系統(tǒng)下運(yùn)行，可以單獨(dú)安裝在一臺計(jì)算機(jī)上，也可以安裝在 SEM 的計(jì)算機(jī)上

• 可與掃描電鏡集成

  帶波紋管的傳輸系統(tǒng)可通過連接管安裝到掃描電鏡上。連接管輸出法蘭的尺寸與相應(yīng)的 SEM 端口尺寸相匹配。通過線性傳輸系統(tǒng)提供離子源流動(dòng)性，可實(shí)現(xiàn)理想的工作距離（15-30 mm）。

• 低能量氬離子槍

  低能量離子槍的直徑和長度均為 50mm。氬離子束的能量范圍：100keV - 2keV。2keV 時(shí)的最大束流為 70µA。離子束為寬束，F(xiàn)WHM 為 2mm。

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