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95 次 Dataray中紅外分析儀精密測量：中紅外光子學(xué)中的低損耗SiGe波導(dǎo) 2025-5-28
中紅外集成光子學(xué)近年來因其廣泛的關(guān)鍵應(yīng)用而備受關(guān)注，如危害探測，大氣中紅外自由空間數(shù)據(jù)傳輸，光譜學(xué)，天體光子學(xué)或軍事成像。法國的納米科學(xué)與納米技術(shù)中心首次研究了在工業(yè)規(guī)模200mm晶圓上
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